Pikometer-Interferometrie – das Herz der Digitalisierung

Jochen Hetzler

Carl Zeiss SMT GmbH

Optics Design Projection (ETSD) Halbleiterfertigungstechnologie

SMT-Optiken von Zeiss werden weltweit zur Chipherstellung eingesetzt. Die Präzision von Linsen und Spiegeln basiert auf Oberflächeninterferometrie mit Pikometergenauigkeit. Der Vortrag gibt Einblick in die Herausforderungen.

Autor: Dr. Jochen Hetzler, 52 Jahre, 22 Jahre bei Zeiss, Experte für Optikdesign und Oberflächenmesstechnik