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Institut für Prozessmess- und Sensortechnik Das Institut für Prozessmess- und Sensortechnik vertritt in Lehre und Forschung insbesondere die präzise Messung verschiedenster Größen nach dem Interferenzoptischen Effekt. Seit den 1970er Jahren werden hier Laserinterferometer zur hochgenauen Bestimmung von Masse, Kraft, Druck, Beschleunigung und natürlich auch für geometrische Größen wie Länge, Winkel und Form entwickelt. Solche Laserinterferometer sind das Herzstück von Nanopositionier- und Nanomessmaschinen zur hochpräzisen dreidimensionalen Vermessung kleinster Strukturen in erweiterten Messbereichen. Heute kann die Laserfrequenz einer solchen NPM-Maschine in unserem Labor mittels moderner Frequenzkammtechnologie direkt auf die SI-Einheit Sekunde zurückgeführt und damit auf eine relative Unsicherheit < 2E-12 stabilisiert werden. Im Jahr 2018 wurde die Einheit der Masse, das Kilogramm, neu definiert und auf die Plancksche Konstante zurückgeführt. In einem Gemeinschaftsprojekt des Instituts für Prozessmess- und Sensortechnik und der Physikalisch-Technischen Bundesanstalt wurde eine Waage, die sogenannte Planck-Waage, entwickelt, die für Massenbestimmungen nach der neuen Definition eingesetzt werden kann. Dabei werden Interferometer zur hochpräzisen Geschwindigkeitsmessung eingesetzt.

Getreu dem Motto „Präzision beim Messen“ entwickelt und fertigt die SIOS Meßtechnik GmbH laserinterferometrische Präzisionsmessgeräte zur Messung von Länge, Winkel, Schwingung und Geradheit in Messbereichen bis 50 m mit höchster Auflösung im Pikometerbereich. Dank der hohen Fertigungstiefe zeichnet sich die SIOS Meßtechnik GmbH als weltweit agierender Produzent und Lieferant kundenspezifischer Lösungen für hochpräzise Mess- und Kalibriergeräte sowohl für wissenschaftliche als auch industrielle Anwendungen in den unterschiedlichsten Bereichen aus.