Alternative Spitzen- und Laser-basierte Nanofabrikation
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Alternative spitzen- und laserbasierte Nanofabrikation bis zu 100 mm auf flachen und unebenen Oberflächen mit Subnanometerpräzision
Univ.-Prof. Dr.-Ing. habil. Eberhard Manske // Technische Universität Ilmenau, Germany
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9. April 2025
